據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體設備概念龍頭股票：

長川科技（300604）：龍頭股。2月21日尾盤消息，長川科技報47.190元/股，漲2.08%。今年來漲幅上漲4.25%，成交總金額14.84億元。

公司2023年的凈利潤4515.96萬元，同比增長-90.21%。

主營半導體測試設備，包括測試機、分選機、探針臺等，2021年營收15.1億元，同比增長88%。

至正股份（603991）：龍頭股。2月21日，至正股份開盤報54.22元，截至14時47分，該股漲0.48%，報價為58.660元，當日最高價為60.75元。換手率10.87%，市盈率為-98.42，7日內股價下跌11.25%。

至正股份2023年凈利潤-4442.35萬，同比增長-164.1%。

至純科技（603690）：龍頭股。2月21日至純科技收報于26.010元。

至純科技公司2023年的凈利潤3.77億元，同比增長33.58%。

半導體設備概念股其他的還有：

賽騰股份：2月21日消息，賽騰股份最新報64.600元，漲2.65%。成交量891.79萬手，總市值為129.14億元。

上海新陽：2月21日尾盤最新消息，上海新陽5日內股價上漲0.37%，截至14時47分，該股報38.190元漲2.08%。

帝爾激光：2月21日尾盤消息，帝爾激光5日內股價上漲1.65%，截至14時47分，該股報61.340元，跌3.46%，總市值為167.51億元。

數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。