半導體設備概念上市公司有：

　　深科達688328：公司產品廣泛應用于平板顯示器件中顯示模組、觸控模組、指紋識別模組等相關組件的自動化組裝和智能化檢測，并向半導體封測、攝像頭微組裝和智能裝備關鍵零部件等領域延伸。

　　從近五年扣非凈利潤復合增長來看，近五年扣非凈利潤復合增長為35.73%，過去五年扣非凈利潤最低為2016年的1962萬元，最高為2020年的6658萬元。

　　北方華創002371：深耕半導體設備領域，國家大基金持股。在國產替代化以及產業升級的過程中，有望充分受益。

　　從近五年扣非凈利潤復合增長來看，過去五年扣非凈利潤最低為2016年的-2.615億元，最高為2020年的1.970億元。

　　晶盛機電300316：自主研制的產品廣泛應用于半導體、光伏、IGBT功率器件、LED光電子以及藍寶石窗口材料等領域，公司是國內技術領先、國際先進的半導體硅材料、光伏硅材料、LED檢測與照明等高端智能化裝備和藍寶石晶體材料供應商與服務商。

　　從近五年扣非凈利潤復合增長來看，近五年扣非凈利潤復合增長為51.83%，過去五年扣非凈利潤最低為2016年的1.543億元，最高為2020年的8.200億元。

　　長川科技300604：

　　從近五年扣非凈利潤復合增長來看，近五年扣非凈利潤復合增長為7.49%，過去五年扣非凈利潤最低為2019年的-1787萬元，最高為2020年的4401萬元。

　　芯源微688037：為推動技術研發與創新，發行人設置有專業的集成電路工藝開發和檢測實驗室，引進國內外先進研發設備與軟件，聘請高端半導體專業技術人才，已初步形成較為完善的專業平臺進行產品工藝研發與測試，為公司深入了解下游行業的需求，緊密把握下游應用產業技術發展的最新動向和發展趨勢，保持技術持續升級奠定堅實的基礎。

　　從近五年扣非凈利潤復合增長來看，近五年扣非凈利潤復合增長為145.98%，過去五年扣非凈利潤最低為2016年的35.18萬元，最高為2018年的2010萬元。

　　京運通601908：高端裝備制造業務，主要包括光伏及半導體、環保設備的設計研發及制造。

　　從近五年扣非凈利潤復合增長來看，近五年扣非凈利潤復合增長為22.21%，過去五年扣非凈利潤最低為2019年的-5131萬元，最高為2020年的4.216億元。

　　數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。