據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機上市公司龍頭有：

　　福晶科技：

　　研發的KBBF晶體為可直接倍頻產生EUV激光的非線性光學晶體。

　　冠石科技：

　　根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。

　　張江高科：

　　藍英裝備：

　　國產光刻機概念上市公司其他的還有：

　　南大光電：近7個交易日，南大光電下跌17.43%，最高價為44.12元，總市值下跌了37.42億元，2024年來上漲28.06%。

　　賽微電子：近7個交易日，賽微電子下跌13.73%，最高價為20.66元，總市值下跌了18.38億元，2024年來下跌-31.51%。

　　彤程新材：近7個交易日，彤程新材下跌9.42%，最高價為35.4元，總市值下跌了19.59億元，下跌了9.42%。

　　本文相關數據僅供參考，不構成投資建議。力求但不保證數據的完全準確，如有錯漏請以中國證監會指定上市公司信息披露媒體為準，據此操作，風險自擔。