光刻機股票龍頭有：

　　芯源微（688037）：龍頭股。在ROTA方面，從2017年到2020年，分別為8.31%、8.53%、4.47%、4.53%。

　　作為與光刻機配合進行作業(yè)的關(guān)鍵處理設(shè)備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機型已成功實現(xiàn)進口替代；通過多年的技術(shù)研發(fā)、實踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國家02重大專項，公司成功突破了應(yīng)用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設(shè)備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。

　　華特氣體（688268）：龍頭股。在EPS方面，從2017年到2020年，分別為0.54元、0.75元、0.81元、0.89元。

　　特種氣體龍頭企業(yè)。

　　雅克科技（002409）：龍頭股。在實際稅率方面，從2017年到2020年，分別為10.16%、14.94%、17.76%、16.56%。

　　光刻膠龍頭企業(yè)。

　　光刻機概念股其他的還有： 晶瑞股份、捷捷微電、容大感光、同益股份、廣信材料、強力新材、飛凱材料、南大光電、藍英裝備、上海新陽、高盟新材、英唐智控、金龍機電、寶通科技、光華科技等。

　　數(shù)據(jù)由南方財富網(wǎng)提供，僅供參考，不構(gòu)成投資建議，股市有風(fēng)險，投資需謹慎，據(jù)此操作，風(fēng)險自擔(dān)。