據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，國產光刻機龍頭股有：

　　冠石科技（605588）：國產光刻機龍頭股，

　　根據(jù)公司規(guī)劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。

　　蘇大維格（300331）：國產光刻機龍頭股，

　　國內領先的微納光學制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術國內領先。

　　海立股份（600619）：國產光刻機龍頭股，

　　為上海微電子的相關設備提供冷卻配套系統(tǒng)，已實現(xiàn)供貨。

　　國產光刻機概念股其他的還有：

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