據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市公司龍頭有：

　　藍英裝備：

　　光刻機龍頭股。3月10日開盤消息，藍英裝備5日內股價下跌5.06%，今年來漲幅上漲16.65%，最新報27.260元，成交額6.08億元。

　　公司控股子公司UCMAG為荷蘭光刻機制造商ASML公司提供精密清洗解決方案，在某特定工藝上公司是其全球唯一供應商。

　　大族激光：

　　光刻機龍頭股。3月10日消息，大族激光今年來漲幅上漲14.94%，最新報29.390元，漲2.44%，成交額18.9億元。

　　海立股份：

　　光刻機龍頭股。截至發稿，海立股份（600619）漲10%，報13.860元，成交額13.46億元，換手率12.68%，振幅漲10%。

　　南大光電：

　　光刻機龍頭股。3月10日南大光電消息，7日內股價上漲3.77%，該股最新報39.220元漲1.08%，成交總金額7.21億元，市值為225.89億元。

　　光刻機概念上市公司其他的還有：

　　強力新材：近7日股價上漲6.22%，2025年股價上漲9.1%。

　　泰晶科技：近7個交易日，泰晶科技上漲1.53%，最高價為16.64元，總市值上漲了1.01億元，2025年來上漲11.88%。

　　怡達股份：近7個交易日，怡達股份上漲5.22%，最高價為12.45元，總市值上漲了1.14億元，2025年來上漲7.87%。

　　數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，股市有風險，投資需謹慎，據此操作，風險自擔。