光刻機上市公司龍頭有：

　　芯源微：龍頭股。半導體設備開發研制。

　　華特氣體：龍頭股。特種氣體龍頭企業。

　　雅克科技：龍頭股。2019年凈利潤2.53億元，同比增90.64%；公司并購華飛電子、江蘇先科、成都科美特并設立雅克福瑞整合電子特氣等半導體材料行業資源，打造綜合性半導體材料平臺。 。

　　光刻機概念上市公司其他的還有：

　　永太科技：截至20年10月，公司光刻膠項目目前生產線已建成待商業化生產，公司正在積極與下游客戶商談合作，該項目產能為1500噸/年CF光刻膠。 。

　　北方華創：芯片產業鏈賣鏟人，半導體設備國內第一，能夠提供除光刻機以外的所有設備，國內唯一一家具有8英寸立式擴散爐和清洗設備生產能力的公司，自主研發14nm等離子硅刻蝕機。前身是七星電子。除了半導體設備，也包括真空設備業務（光伏）、電子元器件業務。

　　勝利精密：公司正在將業務拓展至光刻機產線整體解決方案，開展的光刻機產業化項目總投資額約8.59億元。

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