據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機股票龍頭股有：

　　芯源微：龍頭，2月21日收盤消息，芯源微今年來漲幅上漲11.97%，最新報95.000元，成交額10.57億元。

　　 2024年第三季度季報顯示，公司實現凈利潤3150萬，同比上年增長率為-62.74%。

　　張江高科：龍頭，張江高科最新報價26.760元，7日內股價上漲0.6%；今年來漲幅下跌-0.15%，市盈率為43.87。

　　 2024年第三季度季報顯示，張江高科實現凈利潤2.45億元，同比上年增長率為-34.1%。

　　福晶科技：龍頭，截止2月21日下午三點收盤，福晶科技(002222)跌0.45%，股價為35.390元，盤中股價最高觸及36.11元，最低達35.03元，總市值166.42億元。

　　2024年第三季度季報顯示，公司凈利潤5842.94萬，同比上年增長率為9.47%。

　　東方嘉盛：龍頭，2月21日消息，東方嘉盛開盤報價20.23元，收盤于20.370元，漲0.39%。當日最高價20.39元，最低達19.82元，總市值54.95億。

　　東方嘉盛2024年第三季度季報顯示，公司實現凈利潤5008.98萬，同比上年增長率為87.27%。

　　安泰科技：安泰科技（000969）3日內股價2天上漲，上漲2.99%，最新報12.36元，2025年來上漲9.79%。公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。

　　聯合精密：近3日聯合精密股價上漲0.62%，總市值上漲了7339.47萬元，當前市值為20.86億元。2025年股價上漲9.67%。公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。

　　智光電氣：近3日股價上漲0.64%，2025年股價上漲0.97%。公司通過廣州譽芯眾誠股權投資合伙企業（有限合伙）（持股比例30%）間接參股廣州粵芯半導體技術有限公司80%股權，是粵芯的控股股東，粵芯項目是譽芯眾誠的主要投資項目。粵芯半導體一期以90nm-180nm技術產品為主，二期以65nm-90nm技術產品為主。公司于2019年5月在互動平臺透露，粵芯半導體采購的是荷蘭ASML的光刻機，光刻機等主要設備已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房。

　　數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，股市有風險，投資需謹慎，據此操作，風險自擔。