碳化硅外延設備概念上市公司有哪些？據南方財富網概念查詢工具數據顯示，碳化硅外延設備概念上市公司有：

　　中微公司（688012）：

　　2月14日開盤消息，中微公司5日內股價下跌2.3%，今年來漲幅上漲1.74%，最新報193.040元，成交額28.68億元。

　　晶盛機電（300316）：龍頭股

　　毛利率41.65%，凈利率29.54%，去年全年凈利潤45.58億，同比增長55.85%。

　　公司生產的碳化硅外延設備已形成了銷售，同時在碳化硅晶體生長、切片、拋光環節規劃建立測試線。于13日宣布已成功研發出8英寸N型碳化硅晶體，且SiC襯底也獲客戶三年長約綁定。

　　回顧近30個交易日，晶盛機電股價下跌4.04%，最高價為33.35元，當前市值為401.9億元。

　　數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。