碳化硅外延設備概念上市公司有哪些？據南方財富網概念查詢工具數據顯示，碳化硅外延設備概念上市公司有：

　　中微公司688012：

　　回顧近7個交易日，中微公司有3天下跌。期間整體下跌0.41%，最高價為200.3元，最低價為220.99元，總成交量9000.89萬手。

　　晶盛機電300316：

　　龍頭，在存貨周轉天數方面，公司從2020年到2023年，分別為314.61天、471.97天、545.28天、507.42天。

　　公司所生產的半導體設備主要用于半導體晶體的生長和加工，屬于硅片制造環節設備，同時在部分工藝環節布局至芯片制造和封裝制造端；在8-12英寸半導體大硅片設備領域，公司開發出了包括全自動晶體生長設備（直拉單晶生長爐、區熔單晶爐）、晶體加工設備（單晶硅滾圓機、截斷機、金剛線切片機等）、晶片加工設備（晶片倒角機、研磨機、減薄機、拋光機）、CVD設備（外延設備）；并基于產業鏈延伸，開發出了應用于晶圓及封裝端的減薄設備、外延設備、LPCVD設備；以及應用于功率半導體的碳化硅外延設備。

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